S49 31/MT 質(zhì)量流量計(jì)相關(guān)描述：加工定制品牌：HORIBAMETRON型號(hào)：S49 31/MT測(cè)量范圍（m3/h）：0.3類型：質(zhì)量流量計(jì)公稱通徑（mm）：10工作壓力（MPa）：3精度等級(jí)：±1%
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。
S49 31/MT 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)：
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確計(jì)量。
S49 31/MT 質(zhì)量流量計(jì) 和質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制；
各種形式的真空鍍膜設(shè)備；
環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。
2、S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)型號(hào)
S49 31 系列質(zhì)量流量控制器，S49為質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品，31/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計(jì)序列號(hào)。
其中：S49 31/MT 系列為質(zhì)量流量控制器。
S49 31A/MT 系列為質(zhì)量流量計(jì)。
質(zhì)量流量計(jì)用于氣體質(zhì)量流量精確測(cè)量計(jì)量；質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量計(jì)量功能，還具有自動(dòng)控制氣體流量的功能。
3、 主要技術(shù)指標(biāo)
質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器流量出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位為：標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)mL/min （毫升/分鐘） （SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）；
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)L/min （升/分鐘）（SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度----0℃；
氣壓----101325Pa
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計(jì)技術(shù)指標(biāo)
編號(hào) | 項(xiàng)目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
1 | 流量規(guī)格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
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3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
|
4 | 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min規(guī)格，其余規(guī)格≤±2% F.S) | |
5 | 線性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
6 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | |
7 | 響應(yīng)時(shí)間 | (3～4)s | |
8 | 工作壓差范圍 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa | |
10 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃～45℃ | |
11 | 材料 | 不銹鋼316L | |
12 | 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 | Viton?， EPDM， 或其他由用戶 | |
13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其他 | |
15 | 輸入輸出信號(hào) | 0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA) | |
16 | 供電電源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 | |
18 | 重量kg | 1.0 | |
S49 31A/MT系列質(zhì)量流量計(jì)外形及安裝尺寸
S49 31/MT 系列質(zhì)量流量計(jì)的接線插頭
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